【技術簡介】通過對外延設備在硅片上再生長一層外延層的控制、不同的參雜等，可滿足不同客戶的產品需求。外延工藝是以 SiHCl3為源，通過中頻加熱方式進行氣相淀積，電阻率、厚度、均勻性和重復性均能得到較好的控制。

　　【技術特點】已完全掌握6～8英寸硅外延工藝和技術，產品及工藝技術水平國內領先，國際先進，不存在新的技術難題。已有多個6～8英寸產品，產品性能在國內處于領先地位，達到甚至優(yōu)于國外同類產品水平。

　　【技術水平】五十五所國盛公司是國內最早批量生產硅外延片、技術成熟和發(fā)展迅速的外延廠商之一，第一批認定的國家鼓勵的集成電路企業(yè)，具有較強的硅外延片設計開發(fā)能力，擁有了自主研發(fā)的批生產技術和多項專利，并主持制定了多項國家標準。產品種類豐富，4、5、6、8英寸兼有，并在國內P型外延片和MOSFET用外延片市場處于領先地位。

　　【可應用領域和范圍】硅外延片是制作半導體器件和集成電路的關鍵材料，可以廣泛應用在消費電子、計算機與外設、網絡通訊設備及儀器儀表、汽車電子、顯示器以及電子照明等多個方面。

　　【專利狀態(tài)】核心技術獲授權發(fā)明專利3項。

　　【技術狀態(tài)】批量生產階段

　　【合作方式】合作開發(fā)

　　【投入需求】外延設備及輔助設備采購共需投入1.68億元。

　　【預期效益】達產后新增產能120萬片/年（等效六英寸），實現(xiàn)年銷售收入33600萬元，平均凈利潤每年4500萬元。

　　【聯(lián)系方式】劉洋  025-86858681