【技術(shù)簡介】本技術(shù)采用TSA分離原理，成功實現(xiàn)了工程化放大，由小試規(guī)模5Nm3/h放大到1000Nm3/h的工業(yè)規(guī)模。

　　高純氯氣純化主要采用了如下關(guān)鍵技術(shù)：

　　1、采用二級吸附，雙塔串聯(lián)。一級粗脫塔除去大部分水份，二級精脫塔保證出口水含量在1 ppm以下，兩組交替使用保證系統(tǒng)連續(xù)生產(chǎn)。
　　2、核心設(shè)備吸附塔設(shè)計成帶中心管電加熱器，外部帶夾套的結(jié)構(gòu)。再生時夾套內(nèi)通蒸汽加熱，加熱到一定溫度后由中心管電加熱器實現(xiàn)溫度控制，吸附生產(chǎn)時，夾套通冷卻水，以提高吸附效率和吸附深度。
　　3、中心管加熱器和吸附塔內(nèi)表面帶導(dǎo)熱翅片以強化傳熱速率，使再生周期縮短一半，從而大大減小了設(shè)備尺寸和吸附劑用量，節(jié)省了投資。
　　4、采取夾套蒸汽加熱節(jié)省了電耗，使運行成本大大降低。
　　5、高溫再生時利用一臺熱能回收換熱器，回收了余熱，進一步節(jié)省了能源。
　　6、整套系統(tǒng)采用了PLC或DCS控制，實現(xiàn)了全自動無人操作。

　　【技術(shù)特點】我院的高純氯氣凈化技術(shù)所生產(chǎn)出的氯氣含水量小于1ppm，實現(xiàn)了引進光纖生產(chǎn)線氯氣凈化及供氣系統(tǒng)國產(chǎn)化的目標，在國內(nèi)屬首創(chuàng)，經(jīng)與進口氯氣分析測試比較，其質(zhì)量達到和超過國際先進水平。

　　自2006年以來，隨著半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)特別是太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，高純氯氣的需求就變的更為緊迫。傳統(tǒng)的氯氣除水工藝采用濃硫酸作為吸收劑，所得到的氯氣含水量一般在100ppm以上，而國外多晶硅企業(yè)的氯氣含水量都遠小于此數(shù)值。我院的高純氯凈化技術(shù)經(jīng)工業(yè)化放大所得到的氯氣含水量在1ppm以下。

　　【技術(shù)指標】


　　電子級氯產(chǎn)品質(zhì)量指標


項目
 指標
 
氯（CL2）含量（體積分數(shù)）/10-2             ≥
 99.996
 
氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10-6             ≤
 4
 
氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6             ≤
 20
 
一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6      ≤
 1
 
二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6     ≤
 10
 
烴（C1～C3）含量（體積分數(shù)）/10-6        ≤
 1
 
水（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6           ≤
 3
 
注：1、C1～C3系指CH4、C2H2、C2H4、C2H6
    2、高純氯中金屬和顆粒的要求及檢驗由供方與用戶商定。
 

 
　　【技術(shù)水平】國內(nèi)領(lǐng)先

　　【可應(yīng)用領(lǐng)域和范圍】主要用于半導(dǎo)體元器件和大規(guī)模集成電路制造工序中的熱氧化、晶體生長和MOCVD法生產(chǎn)單膜光導(dǎo)纖維預(yù)制件，以及有關(guān)工業(yè)、基礎(chǔ)科學(xué)研究等尖端技術(shù)。高純氯用作半導(dǎo)體材料的氣體刻蝕劑，特別是與三氯化硼混合可用作鋁的刻蝕；還可用于新能源電池、原子能、航天工業(yè)等亟需的高純石墨制備。

　　【專利狀態(tài)】已取得專利1項

　　【技術(shù)狀態(tài)】批量生產(chǎn)、成熟應(yīng)用階段

　　【合作方式】技術(shù)轉(zhuǎn)讓合作開發(fā)技術(shù)服務(wù)

　　【投入需求】100 萬元

　　【轉(zhuǎn)化周期】3個月

　　【預(yù)期效益】本工程項目的研發(fā)成功，填補了我國高純氯氣工業(yè)化生產(chǎn)的空白。 我國是氯堿工業(yè)大國，氯氣產(chǎn)量排世界前列。除氯堿工業(yè)用氯以外，尚有相當(dāng)多的余氯產(chǎn)品。氯堿工業(yè)面臨產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的最大問題是余氯下游產(chǎn)品的開發(fā)利用。高純氯氣工業(yè)化的研發(fā)成功必將為氯堿工業(yè)余氯的綜合利用開辟廣闊的前景，具有很好的社會效益和經(jīng)濟效益。

　　【聯(lián)系方式】高天龍0411-85961041/13050517064