合作信息
4英寸快速熱處理設(shè)備簡介
發(fā)布單位：北京航天航天大學
所屬行業(yè)：機械
合作信息類型：成果轉(zhuǎn)讓
機構(gòu)類型：高等院校
供求關(guān)系：供應(yīng)
合作信息期限：2015-12
參考價格：面議
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合作信息簡介
RTP（快速熱處理設(shè)備）是逐漸廣泛應(yīng)用于硅及其化合物半導(dǎo)體材料離子注入后的退火，硅化合物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化、北京航空航天大學科研推廣項目匯編快速氮化等工藝中。該設(shè)備大范圍控制爐內(nèi)溫度的能力，配備計算機控制系統(tǒng)后，可靈活實現(xiàn)熱處理過程控制，用戶根據(jù)自己的設(shè)計可以實現(xiàn)熱處理過程的靈活調(diào)整，因此該設(shè)備不僅可用于小批量生產(chǎn)，更適合于科研院所從事有關(guān)科研工作的人員使用。
