類金剛石薄膜（diamond-like carbon, DLC）是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶碳薄膜，具有一系列類似于金剛石的多種優(yōu)異性能，如高硬度、低摩擦系數(shù)、高耐磨耐蝕性、高熱導(dǎo)率、在可見到紫外光范圍內(nèi)透明、良好的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)異的生物兼容性及表面光滑等，可廣泛用于機(jī)械、電子、光學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。本項(xiàng)目制備的類金剛石薄膜具有質(zhì)量穩(wěn)定，與基體結(jié)合強(qiáng)，硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)和透光性可調(diào)控，耐摩擦磨損和熱穩(wěn)定性好等綜合優(yōu)良性能。制備工藝方法具有成膜速率高，可實(shí)現(xiàn)低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜，與金剛石相比具有更高的性能價(jià)格比。     本項(xiàng)目制備的類金剛石膜可用在許多領(lǐng)域，尤其是在機(jī)械制造和先進(jìn)加工器件方面。如汽車發(fā)動(dòng)機(jī)凸輪、挺桿、陶瓷閥及其他耐磨損機(jī)械裝置部件；精密模具行業(yè)（注塑成型模具、沖壓模具、半導(dǎo)體封裝模具、吹塑成型模具等）；高精密機(jī)械（精密軸承、精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等）；各種加工工具和切削刀具；醫(yī)療設(shè)備和器具；磁介質(zhì)保護(hù)膜、各種裝飾鍍膜和日常用品（手機(jī)和手表外殼、揚(yáng)聲器振膜、高爾夫球具、剃須刀片等）。 技術(shù)指標(biāo)：     薄膜厚度：幾十納米到幾個(gè)微米；硬度：25GPa以上；摩擦系數(shù)：小于0.15，摩擦磨損過程中具有自潤滑作用；沉積溫度：小于200℃。