光學(xué)薄膜的激光損傷是影響高功率激光器提高激光輸出功率的關(guān)鍵因素之一。光學(xué)薄膜的激光損傷不僅降低激光的輸出質(zhì)量，造成光束波前和相位畸變，而且調(diào)制激光光束，對激光器造成災(zāi)難性損壞。隨著對激光器輸出功率要求的不斷提高，相應(yīng)的光學(xué)元件要求承受的激光通量也越來越大。提高光學(xué)元件激光通量承受能力即提高激光損傷閾值是目前急需解決的提問。限制光學(xué)元件激光損傷閾值的瓶頸是膜層的損傷閾值尤其是高反射膜損傷閾值。目前，提高損傷閾值的途徑主要有以下幾種：(i)改善鍍膜工藝，(ii)尋找具有更高損傷閾值的鍍膜材料，(iii)膜層激光預(yù)處理等。為了真正能實現(xiàn)損傷閾值有質(zhì)的提高，必須突破現(xiàn)有的膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計理論體系或框架；同時也必須探索損傷的機理，研究新工藝和技術(shù)。只有這樣才有可能大幅度地提高膜系的損傷閾值。本技術(shù)就是要提高光學(xué)薄膜的激光損傷。