該課題以光纖耦合作業(yè)為應(yīng)用背景，從基礎(chǔ)研究、單元技術(shù)開發(fā)、系統(tǒng)應(yīng)用研究三個(gè)層次，對(duì)微操作機(jī)器人關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了深入研究。取得如下成果：     1、提出了壓電陶瓷的遲滯數(shù)學(xué)模型，得到實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。     2、研制了系列化的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源，獲得應(yīng)用。     3、研制了三種微位移檢測(cè)模塊和全數(shù)字化的微定位控制器，獲得應(yīng)用。     4、研制出五自由度納米級(jí)微驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，達(dá)到納米精度，獲得應(yīng)用。     5、研制出六自由度精密并聯(lián)定位系統(tǒng)，達(dá)到亞微米級(jí)精度，獲得應(yīng)用。     6、研制出具有通用性并能夠完成光纖精密作業(yè)的微操作機(jī)器人系統(tǒng)，達(dá)到如下指標(biāo)：光纖間偏軸量：小于0.05μm，光纖間軸向傾斜角：小于30″，耦合功率衰耗：小于0.02dB，平均作業(yè)時(shí)間：小于18s。     技術(shù)水平     該項(xiàng)技術(shù)總體上居于國內(nèi)領(lǐng)先地位，并達(dá)到了國際先進(jìn)水平。