多功能等離子體表面改性裝置是哈爾濱工業(yè)大學(xué)最新研制的新一代表面改性設(shè)備，它綜合了目前流行的多種利用等離子體方法進行表面改性的先進技術(shù)，將磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍及全方位離子注入技術(shù)結(jié)合在一起，形成一種新型的等離子體基表面改性技術(shù)。已獲得國家發(fā)明專利（見附件）。該裝置可以根據(jù)表面工程技術(shù)的具體要求，在不破壞真空的情況下單獨或同時進行離子鍍或離子混合注入，如磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍、全方位離子注入、等離子體化學(xué)熱處理、高壓脈沖輝光放電處理等。利用此裝置可獲得具有低溫（可以小于150℃）、尺寸精度高、結(jié)合力好的表面改性工藝，制取諸如單質(zhì)金屬膜如Ti、Cr、Ni、Pt等； 化合物膜如TiN、TiC、CrN等；單一元素離子注入如N、C、B等，多種元素同時注入如Ti、N、C等；并可以制取DLC膜、多層膜或梯度膜等。獲得的表面改性層既具有普通離子鍍的優(yōu)點，也具有多束混合技術(shù)或離子注入等的優(yōu)點。 該裝置可以對復(fù)雜結(jié)構(gòu)零件、精密零件、傳動件、工具、模具、量具等進行批量處理，獲得滿足表面工程技術(shù)要求的耐磨、耐蝕、減摩或梯度要求的表面改性層。