多元等離子體基離子注入混合及多層復(fù)合膜技術(shù)是在哈爾濱工業(yè)大學(xué)最新研制的新一代表面改性設(shè)備DLZ-01型等離子體表面改性裝置上開發(fā)出來(lái)的最新表面改性技術(shù)，它綜合了目前流行的多種利用等離子體方法進(jìn)行表面改性的先進(jìn)技術(shù)，將磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍及全方位離子注入技術(shù)結(jié)合在一起，形成一種新型的等離子體基表面改性技術(shù)。此技術(shù)已獲得國(guó)家發(fā)明專利。該裝置可以根據(jù)表面工程技術(shù)的具體要求，在不破壞真空的情況下，單獨(dú)或同時(shí)進(jìn)行離子鍍或離子混合注入，如磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍、全方位離子注入、等離子體化學(xué)熱處理、高壓脈沖輝光放電處理等。獲得的表面改性層既具有普通離子鍍的優(yōu)點(diǎn)，也具有多束混合技術(shù)或離子注入等的優(yōu)點(diǎn)。     該技術(shù)可以對(duì)復(fù)雜結(jié)構(gòu)零件、精密零件、傳動(dòng)件、各種滾動(dòng)軸承、滑動(dòng)接觸件、工具、模具、量具等進(jìn)行批量處理，獲得滿足表面工程技術(shù)要求的耐磨、耐蝕、減摩或梯度要求的表面改性層。適用于鋼鐵材料、鋁合金、鈦合金、高溫合金、無(wú)磁合金及其它非金屬材料的耐腐蝕性和耐磨性等。     應(yīng)用效果    （1）硬質(zhì)合金切削刀具經(jīng)等離子體淹沒離子注入氮后加工HRC38~40的調(diào)質(zhì)鋼與同材料未處理刀具相比使用壽命提高3~5倍，出屑流暢，表面光潔度提高1~2級(jí)，可到Ra=1.6~0.8mm。    （2）鋼銑刀經(jīng)等離子體淹沒離子注入氮后加工淬火狀態(tài)50CrV鋼與同材料未處理刀具相比，出屑流暢，表面光潔度提高1級(jí)。    （3）TC4合金經(jīng)等離子體淹沒離子注入氮后表面硬度達(dá)HK1150，耐磨性提高5倍。    （4）軸承鋼經(jīng)等離子體基離子注入混合Ti,N+Ti,C+DLC, 耐磨性提高幾倍至幾十倍。    （5）鋁合金經(jīng)等離子體基離子注入混合Ti,N+Ti,C+DLC，耐磨性提高5倍以上。