亞納米激光工業(yè)檢測與計量系統(tǒng)是利用偏振激光干涉測量原理，實現(xiàn)對微小位移和振動的高精度非接觸式測量，系統(tǒng)的測量分辨率可達0.1nm，振幅測量重復精度3～5nm，還可用于長度、速度、加速度等物理參數(shù)的測量。該系統(tǒng)具有精度高、測量范圍大、檢測時間短、非接觸式等優(yōu)點，測量效率更高、不損傷測量表面、不易受被測對象表面狀態(tài)影響。其主要技術(shù)指標如下：    （1）分辨率：優(yōu)于10pm（5～500Hz）；    （2）動態(tài)范圍：優(yōu)于150dB（5～500Hz）；    （3）頻率范圍：5～1000Hz（可擴展）；    （4）測量維數(shù)：x-y二維；    （5）系統(tǒng)預(yù)熱：30分鐘；    （6）工作溫度：10～40℃（工作時溫度變化小于1℃）；    （7）體積：700×700×1200（mm3），（可縮小Φ300×1200）；    （8）其他：光學主體密封。