合作信息
新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產(chǎn)業(yè)化
發(fā)布單位：中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
所屬行業(yè)：電子信息
合作信息類型：意向合作
機(jī)構(gòu)類型：科研院所
供求關(guān)系：供應(yīng)
合作信息期限：2017-6
參考價(jià)格：面議
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合作信息簡介
本項(xiàng)目創(chuàng)新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，將填補(bǔ)國際上在微納尺度應(yīng)用于多功能傳感檢測的空白。本產(chǎn)品系利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計(jì)和加工技術(shù)的特殊優(yōu)勢，借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術(shù)，通過可變電容和機(jī)械式正弦形彈簧相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)微納MEMS傳感芯片的大規(guī)模制備。該新型傳感器通過可變電容和機(jī)械式正弦形彈簧相結(jié)合的方式測量微力和位移，操作方便，價(jià)格低廉，精度高，發(fā)展前景好，市場潛力大。
合作方式面議
聯(lián)系單位中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
聯(lián)系人周揚(yáng)
聯(lián)系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
合作方式面議
聯(lián)系單位中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
聯(lián)系人周揚(yáng)
聯(lián)系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
合作方式面議
聯(lián)系單位中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
聯(lián)系人周揚(yáng)
聯(lián)系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
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聯(lián)系單位中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
聯(lián)系人周揚(yáng)
聯(lián)系電話13912612332
郵箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
