“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。
“虛擬運行”軟件對器件的運動情況進行仿真，并與最初設(shè)計方案比較來指導(dǎo)和修正實際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運動時的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍色表示變形較小的部分。