合作信息
大面積并聯(lián)高密度感應耦合等離子體源
發(fā)布單位:蘇州大學科學技術與產(chǎn)業(yè)部
所屬行業(yè):電力
合作信息類型:意向合作
機構類型:高等院校
供求關系:供應
合作信息期限:2016-7
參考價格:面議
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合作信息簡介
成果名稱:大面積并聯(lián)高密度感應耦合等離子體源
成果簡介:
本專利公開了一種大面積并聯(lián)高密度感應耦合等離子體源,包括射頻電源、匹配網(wǎng)絡、外置天線和真空腔體等。采用了創(chuàng)新的感應天線的繞制方法,提高了射頻功率的耦合效率,增強了等離子體密度,改善了其放電均勻性,設計與制作簡單,成本低廉。
技術指標:
在700W射頻功率的條件下,Ar等離子體密度超過1011cm-3,表面處理的均勻性好于85%。
應用領域:
各種樣品表面的快速等離子體真空處理、薄膜生長等。
合作方式:面議。
聯(lián)系方式:
蘇州大學科學技術與產(chǎn)業(yè)部 0512-67165732
成果簡介:
本專利公開了一種大面積并聯(lián)高密度感應耦合等離子體源,包括射頻電源、匹配網(wǎng)絡、外置天線和真空腔體等。采用了創(chuàng)新的感應天線的繞制方法,提高了射頻功率的耦合效率,增強了等離子體密度,改善了其放電均勻性,設計與制作簡單,成本低廉。
技術指標:
在700W射頻功率的條件下,Ar等離子體密度超過1011cm-3,表面處理的均勻性好于85%。
應用領域:
各種樣品表面的快速等離子體真空處理、薄膜生長等。
合作方式:面議。
聯(lián)系方式:
蘇州大學科學技術與產(chǎn)業(yè)部 0512-67165732