合作信息
大量程納米級光柵位移傳感器
發(fā)布單位：湖南長沙國防科技大學(xué)科研部
所屬行業(yè)：電子信息
合作信息類型：意向合作
機構(gòu)類型：高等院校
供求關(guān)系：供應(yīng)
合作信息期限：2017-6
參考價格：面議
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合作信息簡介
成果名稱：大量程納米級光柵位移傳感器
成果簡介
在國家自然科學(xué)基金項目支持下，學(xué)校研制出利用單根低線數(shù)計量光柵實現(xiàn)大量程、納米級分辨率、高性價比的位移測量的大量程納米級光柵位移傳感器。其主要創(chuàng)新點有：
1.首次從原理上提出了利用單根低線數(shù)計量光柵實現(xiàn)大量程、納米分辨率的位移測量方法，并提出了一種對相位差不敏感的交點跟蹤式莫爾(干涉)條紋信號計數(shù)細(xì)分方法;
2.設(shè)計了一種基于保偏光纖耦合器的鏡柵隨動式光柵干涉儀光路，突破了傳統(tǒng)光柵干涉儀量程的限制，從技術(shù)上實現(xiàn)了大量程、高精度的位移測量;
3.提出了一種高分辨率數(shù)字化微光學(xué)灰度掩模制作方法，研制了相應(yīng)的制作裝置，可實現(xiàn)大量程納米級光柵位移傳感器的產(chǎn)品系列化。
現(xiàn)已獲授權(quán)3項發(fā)明專利，2009年度獲湖南省技術(shù)發(fā)明二等獎。經(jīng)國家二級計量站比對測試，其測量范圍達2m，分辨率為1nm，測量精度優(yōu)于±0.15μm。該成果填補了國內(nèi)超精密加工中低價位納米級位移測量儀器的空白，總體性能指標(biāo)達到國際先進水平，可廣泛應(yīng)用于機械加工精密位移測量、位移量同步比較測量等領(lǐng)域。
聯(lián)系方式：
地址 湖南長沙國防科技大學(xué)科研部 郵編：410073
聯(lián)系人：秦元崗 電話：0731-84572337，13308492604
傳真：0731-84572300 E-mail：qyg318@126.com
成果簡介
在國家自然科學(xué)基金項目支持下，學(xué)校研制出利用單根低線數(shù)計量光柵實現(xiàn)大量程、納米級分辨率、高性價比的位移測量的大量程納米級光柵位移傳感器。其主要創(chuàng)新點有：
1.首次從原理上提出了利用單根低線數(shù)計量光柵實現(xiàn)大量程、納米分辨率的位移測量方法，并提出了一種對相位差不敏感的交點跟蹤式莫爾(干涉)條紋信號計數(shù)細(xì)分方法;
2.設(shè)計了一種基于保偏光纖耦合器的鏡柵隨動式光柵干涉儀光路，突破了傳統(tǒng)光柵干涉儀量程的限制，從技術(shù)上實現(xiàn)了大量程、高精度的位移測量;
3.提出了一種高分辨率數(shù)字化微光學(xué)灰度掩模制作方法，研制了相應(yīng)的制作裝置，可實現(xiàn)大量程納米級光柵位移傳感器的產(chǎn)品系列化。
現(xiàn)已獲授權(quán)3項發(fā)明專利，2009年度獲湖南省技術(shù)發(fā)明二等獎。經(jīng)國家二級計量站比對測試，其測量范圍達2m，分辨率為1nm，測量精度優(yōu)于±0.15μm。該成果填補了國內(nèi)超精密加工中低價位納米級位移測量儀器的空白，總體性能指標(biāo)達到國際先進水平，可廣泛應(yīng)用于機械加工精密位移測量、位移量同步比較測量等領(lǐng)域。
聯(lián)系方式：
地址 湖南長沙國防科技大學(xué)科研部 郵編：410073
聯(lián)系人：秦元崗 電話：0731-84572337，13308492604
傳真：0731-84572300 E-mail：qyg318@126.com
