成果名稱：納米精度光學零件制造裝備與工藝

　　成果簡介

　　高精度光學零件在軍事和民用領域應用廣泛，“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”、“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”、“慣性約束核聚變”等國家重大專項中都需要大量高精度、大口徑、復雜面形的光學零件。以手工加機械拋光為主的傳統(tǒng)光學加工技術無法滿足制造需求，已成為制約國家高技術發(fā)展的瓶頸。美國等發(fā)達國家率先發(fā)展了以高效數(shù)字化為特征的現(xiàn)代光學制造技術，極大地提升了高精度光學制造能力。由于現(xiàn)代光學制造技術對國防、航天等敏感領域的支撐作用非常明顯，西方發(fā)達國家嚴格限制對我國出口。

　　針對國家重大需求，在國家“973”、“863”等項目支持下，學校開展了基于可控柔體的超精密光學制造理論、裝備及工藝研究，先后掌握了高精度光學鏡面制造磁流變和離子束拋光兩項核心關鍵技術，成功研制了國內首臺磁流變拋光設備和離子束拋光設備，達到國際先進水平，實現(xiàn)了納米精度的光學自動化加工，成為目前世界上唯一同時掌握這兩項核心技術的單位(美國、德國相關研究單位只是分別掌握了磁流變、離子束拋光技術)，標志著我國已經具有高端光學零件制造的配套裝備和技術，為發(fā)展我國現(xiàn)代光學制造技術奠定了理論、設備和工藝基礎。

　　該成果已獲專利33項。隨著科學技術的發(fā)展，特別是武器裝備、太空觀測、激光核聚變、極紫外光刻等領域技術的發(fā)展，光學制造業(yè)需要進行產業(yè)結構調整，該成果在光學制造業(yè)產業(yè)結構調整中能夠顯著提高企業(yè)的光學制造水平，促進產品的升級換代，具有良好的市場應用前景。

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