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系列羅茨干式真空泵機組
關鍵字:
羅茨
干式
真空泵機組
所屬行業(yè):
其他
發(fā)布時間:
2015-12-15
價格:
所在地區(qū):
遼寧 沈陽
合作信息期限:
2017年4月
合作信息類型:
意向合作
機構類型:
科研院所
供求關系:
供應
合作信息簡介:
該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動/噪聲抑制技術、表面防腐技術、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動系統(tǒng)設計等關鍵技術,具有完全自主知識產權,可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境,技術水平達到..
發(fā)布機構:
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
系列渦旋干式真空泵
關鍵字:
渦旋干式
真空泵
所屬行業(yè):
其他
發(fā)布時間:
2015-12-15
價格:
所在地區(qū):
遼寧 沈陽
合作信息期限:
2017年4月
合作信息類型:
意向合作
機構類型:
科研院所
供求關系:
供應
合作信息簡介:
渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無油、高效率的真空獲得設備,主要應用于集成電路、半導體、醫(yī)療、生物制藥、食品等領域,解決了真空儀器設備的油污染問題,成為了世界上發(fā)展最快的泵種之一。沈陽科儀公司攻克了渦旋型線修正、渦旋盤加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關系研..
發(fā)布機構:
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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