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系列羅茨干式真空泵機組
關(guān)鍵字:
羅茨
干式
真空泵機組
所屬行業(yè):
其他
發(fā)布時間:
2015-12-15
價格:
所在地區(qū):
遼寧 沈陽
合作信息期限:
2017年4月
合作信息類型:
意向合作
機構(gòu)類型:
科研院所
供求關(guān)系:
供應(yīng)
合作信息簡介:
該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設(shè)計與多種轉(zhuǎn)子形式的組合、密封結(jié)構(gòu)和振動/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結(jié)合、電機與驅(qū)動系統(tǒng)設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù),具有完全自主知識產(chǎn)權(quán),可應(yīng)用于標(biāo)準(zhǔn)/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境,技術(shù)水平達到..
發(fā)布機構(gòu):
中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
共
1
頁 總數(shù):
2
條
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