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新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產業(yè)化
關鍵字：
電容式
多功能傳感器芯片
所屬行業(yè)：
電子信息
發(fā)布時間：
2015-12-09
價格：
所在地區(qū)：
江蘇 蘇州
合作信息期限：
2017年6月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
本項目創(chuàng)新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，將填補國際上在微納尺度應用于多功能傳感檢測的空白。本產品系利用微機電系統(tǒng)(MEMS)設計和加工技術的特殊優(yōu)勢，借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術，通過可變電容和機..
發(fā)布機構：
中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
用于高真空測量的電容式微型真空規(guī)
關鍵字：
電容式
微型
真空規(guī)
所屬行業(yè)：
機械
發(fā)布時間：
2015-08-06
價格：
所在地區(qū)：
福建 廈門
合作信息期限：
2016年10月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
高等院校
供求關系：
供應
合作信息簡介：
成果名稱：用于高真空測量的電容式微型真空規(guī) 成果擁有單位：廈門大學 成果簡介： 以MEMS技術為基礎的硅微機械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產和單片集成等優(yōu)點，滿足國際上真空計的發(fā)展要求。該真空規(guī)為一種以MEMS技術為基礎的電容式硅微真空傳感器，它主要..
發(fā)布機構：
廈門大學
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