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高純電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化
關(guān)鍵字:
高純
電子氣體
所屬行業(yè):
電子信息
發(fā)布時間:
2015-01-29
價格:
所在地區(qū):
河北 邯鄲
合作信息期限:
2016年3月
合作信息類型:
技術(shù)協(xié)作
機構(gòu)類型:
企業(yè)
供求關(guān)系:
供應
合作信息簡介:
【技術(shù)簡介】我國對于超純度電子氣體的研究前后經(jīng)歷了20多年的努力,開發(fā)出了一批特種氣體,可以基本滿足中小規(guī)模集成電路用的氣體,但對于超大(VLSI)和特大(ULSI)規(guī)模集成電路的用氣仍然存在技術(shù)空白,尤其是純度超過6N的氣體全部依靠進口來解決。 本項目的實施,將從根本上改變當前我國高純..
發(fā)布機構(gòu):
中國船舶重工集團公司第七一八研究所
共
1
頁 總數(shù):
2
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