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新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產(chǎn)業(yè)化
關(guān)鍵字:
電容式
多功能傳感器芯片
所屬行業(yè):
電子信息
發(fā)布時(shí)間:
2015-12-09
價(jià)格:
所在地區(qū):
江蘇 蘇州
合作信息期限:
2017年6月
合作信息類(lèi)型:
意向合作
機(jī)構(gòu)類(lèi)型:
科研院所
供求關(guān)系:
供應(yīng)
合作信息簡(jiǎn)介:
本項(xiàng)目創(chuàng)新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測(cè)的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips),將填補(bǔ)國(guó)際上在微納尺度應(yīng)用于多功能傳感檢測(cè)的空白。本產(chǎn)品系利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計(jì)和加工技術(shù)的特殊優(yōu)勢(shì),借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術(shù),通過(guò)可變電容和機(jī)..
發(fā)布機(jī)構(gòu):
中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
共
1
頁(yè) 總數(shù):
2
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